清潔臭氧發生器、臭氧超純水發生器、高濃度臭氧發生器、臭氧水高效清洗設備；卓康牌臭氧發生器采用平板式放電模組，通過微間隙放電將氧氣轉化為臭氧。放電單元由高純度陶瓷組成，放電過程中無金屬離子析出。臭氧濃度超過320g / ?（N），在市場上處于較高水平。它已被許多客戶在半導體，FDP和其他電子器件材料制造工藝的干法和濕法工藝中高度重視。

我司核心放電裝置可按照客戶要求進行多種組合，實現不同的臭氧氣體濃度。

臭氧清洗可應用于多種行業，不同行業有不同的濃度需求，在光伏行業主要有如下應用：

目前主要應用于制絨工序中替代雙氧水、制絨后清洗、鍍膜前清洗、替代RCA 清洗、BOE 清洗、黑硅表面清洗、高質量氧化膜生長等;